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张泽芳副研究员博士上海市研究领域：研究方向： 1．半导体衬底的化学机械抛光 2．消费电子产品的化学机械抛光 3．纳米氧化硅的制备及其在无机涂料中的应用所在单位：上海工程技术大学

基本信息

所在单位：

上海工程技术大学

机构细分：

化学化工学院

单位类型：

高等院校

职务：

副研究员

职称：

副研究员

最高学历：

博士

教育经历：

2008/09–2011/06：中国科学院上海微系统与信息技术研究所国家信息功能材料国家重点实验室，微电子学与固体电子学，博士
2005/09–2008/07：上海大学理学院化学系，物理化学，硕士
2001/09–2005/07：山西大同大学化学系，应用化学，学士

工作经历：

2019/12–至今：上海工程技术大学化学化工学院，副研究员
2016/10–至今：临汾博利士纳米材料有限公司，董事长
2018/12–2019/11：上海映智研磨材料有限公司，总经理
2015/09–2018/11：复旦大学信息科学与工程学院电光源系，博士后
2014/12–2015/05：常州大学材料科学与工程学院，讲师
2011/07–2014/10：中科院上海微系统与信息技术研究所，助理研究员

专家荣誉：

2019 山西省青年拔尖人才
2018 山西省“三晋英才”拔尖骨干人才
2014 中国科学院创新促进会会员
2011 中国科学院院长优秀奖

科研能力

研究方向：

1．半导体衬底的化学机械抛光
2．消费电子产品的化学机械抛光
3．纳米氧化硅的制备及其在无机涂料中的应用

科研项目：

1.国家自然科学基金青年基金项目（51205387），新型LED蓝宝石衬底抛光液设计及其抛光机理研究（2013/01–2015/12），经费24万
2.上海市科技型中小企业创新基金（1803H1D7400），新型蓝宝石抛光液的设计制备及产业化（2017/01–2018/02），经费20万
3.山西省青年拔尖人才项目（2019/12-2021/12），经费60万

基本信息

科研能力

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