王浪平
山东省
研究领域：
研究方向：
1. 关键基础零部件的先进离子加工技术
轴承、齿轮和高速机械密封等精密基础零部件的表面强化，寿命提升3-5倍，密封泄漏率降低1个数量级以上；运载火箭、空间站、神舟飞船等20余个国家重大工程型号的核心制造技术，入选科技部、商务部发布的中国限制出口技术目录（2020版）。
2. 超光滑光学薄膜的离子沉积技术
超光滑膜层表面粗糙度低于0.3nm，满足极紫外光刻机、X射线聚焦镜制造的需求，制造的聚焦镜焦角分辨优于20角秒；大型X射线聚焦镜制造领域“国家队”的核心课题组之一，支撑全球性能最强的增强型X射线时变与偏振天文台（eXTP）研制。
3. 高速离子沉积与清洗技术
发展新一代的高速离子沉积、刻蚀清洗等技术，将沉积速率和清洗效率提升1-2个数量级，替代传统电镀、清洗等技术，满足国民经济主战场需求。
4. 先进离子加工成套装备研制
机械、电气、控制与工艺一体化，研制离子加工成套装备，满足航天、航空等行业重大型号生产需求，实现交钥匙工程。
所在单位：
哈尔滨工业大学
