
6月5日,大连科利德光电子材料有限公司长兴岛分公司 半导体用材料中试项目 环境影响评价第一次公示,项目相关情况如下:
项目名称:大连科利德光电子材料有限公司长兴岛分公司半导体用材料中试项目
建设性质:新建
建设地点:辽宁省大连市长兴岛经济技术开发区
建设内容:本项目为中试项目,新建三氟碘甲烷和锗烷全套产线设备,使用液相法将氧化锗生产锗烷,将三氟乙酸钾生产三氟碘甲烷,年产能为三氟碘甲烷10吨、锗烷5吨。
拓展阅读:
三氟碘甲烷是一种重要的氟碘烃化合物,常温下为无色、无味气体,沸点-22.5℃,具有良好的环境性能(ODP=0,20年GWP值低于5)、无毒与阻燃特性。但CF3I高制备成本和稳定性差限制了其规模化应用,其主要应用领域包括:(1)功能材料:环保制冷剂、灭火剂、绝缘气体等;(2)半导体制造:作为刻蚀气体,CF3I可用于3D NAND Flash先进制程,与CF4、C4F6等相比,CF3I具有高选择性和高深宽比;(3)有机合成:作为亲电三氟甲基化试剂,CF3I能与有机金属试剂作用,是构建含三氟甲基结构的重要含氟中间体,在药物和农化品研发中具有重要价值。
素材来源:大连科利德、氟化工